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一种静电伺服挠性加速度计

基本信息

申请号 CN02227856.7 申请日 -
公开（公告）号 CN2541847Y 公开（公告）日 2003-03-26
申请公布号 CN2541847Y 申请公布日 2003-03-26
分类号 G01P15/125 分类 测量；测试;
发明人 王福殿;吕良;杨冠 申请（专利权）人 惠州惠台仙通智能仪表有限公司
代理机构 广州粤高专利代理有限公司 代理人 罗晓林
地址 516006广东省惠州市惠台工业园区18号
法律状态 -

摘要

摘要 一种利用静电力产生伺服力矩的石英电容式挠性加速度计，包括控制电路、设在基座上的石英挠性摆片、传感电容器，在石英挠性摆片的两侧面对称地设置有两对金属电极，这两对金属电极分别与设置在基座上的金属电极构成传感电容C1、C2和产生静电力伺服力矩的电容C3、C4。传感电容C1、C2产生的电信号进入控制电路中的差动脉冲电路宽度调制电路后，并经比例放大电路、低通滤波电路，一路输出信号Vout，一路经驱动电路产生伺服静电力矩信号并输入到电容C3、C4。本实用新型由于采用静电力实现伺服闭环的技术方案，使精加工部件部件减少，可大幅度降低制造和装配成本，降幅可达1/3左右，便于推广应用。