一种能够增强显影效果的显影装置
基本信息
| 申请号 | CN202023251674.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214122683U | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN214122683U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杨女燕 | 申请（专利权）人 | 陕西光电子先导院科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 戴媛 |
| 地址 | 710119陕西省西安市高新区上林苑一路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种能够增强显影效果的显影装置，包括显影腔室，显影腔室内底部连接旋转转轴，旋转转轴上连接晶圆载台，显影腔室上壁穿接显影液出液管，显影液出液管位于显影腔室内的一端在晶圆载台上方；通过喷嘴喷洒显影液，通过旋转转轴转动带动晶圆载台，在喷洒显影液时能够铺料均匀，避免铺料时出现气泡，且减少显影液的浪费。本实用新型的装置增加了背洗的功能，主要洗去从上方流下的显影液残余；侧边的氮气吹扫能使晶圆显影后保持一个干净的表面。 |
