一种带有衬锅的金属蒸镀用坩埚
基本信息
| 申请号 | CN202023147463.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214300318U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214300318U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵涛 | 申请（专利权）人 | 陕西光电子先导院科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 刘娜 |
| 地址 | 710065陕西省西安市高新区上林苑一路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种带有衬锅的金属蒸镀用坩埚，包括坩埚本体和衬锅，衬锅位于坩埚本体内部，且衬锅外壁与坩埚本体内壁之间设置有间隙，间隙的宽度为0.5‑1mm，衬锅底部与坩埚本体底部的间隙内还设置有导热块，衬锅的外侧壁还包覆有导热薄膜层。本实用新型的带有衬锅的金属蒸镀用坩埚，减少了金属预熔的重量，对于贵金属而言，大幅度降低无收益资产，使用衬锅蒸镀同样的速率蒸镀功率能下降30％‑45％，提高了金属的镀膜速率，缩短镀膜时间。 |
