多层压电陶瓷执行器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201711470674.8 申请日 -
公开(公告)号 CN109994597A 公开(公告)日 2019-07-09
申请公布号 CN109994597A 申请公布日 2019-07-09
分类号 H01L41/09(2006.01)I; H01L41/083(2006.01)I; H01L41/047(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 丁耀民; 关胜 申请(专利权)人 苏州攀特电陶科技股份有限公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 苏州攀特电陶科技股份有限公司
地址 215000 江苏省苏州市昆山开发区昆嘉路385号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种多层压电陶瓷执行器及其制备方法,涉及压电陶瓷元器件技术领域,本发明提供的多层压电陶瓷执行器包括多层平行间隔排布的压电陶瓷、设于相邻两层压电陶瓷之间的内电极、两个沿竖直方向分别设于多层压电陶瓷两侧的外电极,内电极的一端与一个外电极接触,另一端与另一个外电极之间设置有绝缘层,沿竖直方向相邻两层绝缘层交错布置,沿着垂直于外电极的方向,绝缘层的宽度为10-100μm。在制备过程中,本发明提供的多层压电陶瓷执行器的边缘不会产生裂纹,在截面面积相同的执行器中,具有更大的出力。