一种溅射靶材用高纯钼粉及其制备方法

基本信息

申请号 CN202210232753.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114713834A 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN114713834A 申请公布日 2022-07-08
分类号 B22F9/22(2006.01)I;B22F1/14(2022.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分类 铸造;粉末冶金;
发明人 唐鑫鑫;谢志国;杨晓青;李志翔 申请(专利权)人 自贡硬质合金有限责任公司
代理机构 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 643010四川省自贡市人民路111号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种溅射靶材用高纯钼粉的制备方法,包括如下步骤:S1、一次还原;S2、混合;S3、二次还原;S4、气流分级;S5、合批;本发明所提供的溅射靶材用高纯钼粉的制备方法,工艺简单,效率高,易于实现工业化生产。生产过程中可将原料中的杂质元素充分排出,并且避免了二次污染,制备的钼粉纯度高,颗粒尺寸均匀,费氏粒度及松装密度可根据不同的使用条件进行调节。