一种溅射靶材用高纯钼粉及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202210232753.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114713834A | 公开(公告)日 | 2022-07-08 |
申请公布号 | CN114713834A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
分类号 | B22F9/22(2006.01)I;B22F1/14(2022.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 铸造;粉末冶金; |
发明人 | 唐鑫鑫;谢志国;杨晓青;李志翔 | 申请(专利权)人 | 自贡硬质合金有限责任公司 |
代理机构 | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 643010四川省自贡市人民路111号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种溅射靶材用高纯钼粉的制备方法,包括如下步骤:S1、一次还原;S2、混合;S3、二次还原;S4、气流分级;S5、合批;本发明所提供的溅射靶材用高纯钼粉的制备方法,工艺简单,效率高,易于实现工业化生产。生产过程中可将原料中的杂质元素充分排出,并且避免了二次污染,制备的钼粉纯度高,颗粒尺寸均匀,费氏粒度及松装密度可根据不同的使用条件进行调节。 |
