一种长距离、精准快速取装芯片装置
基本信息
| 申请号 | CN201810414132.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110444498B | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN110444498B | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王敕 | 申请（专利权）人 | 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭益波 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市常熟市东南街道东南大道1150号4-1、4-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种长距离、精准快速取装芯片装置，包括晶圆台和承片台，所述晶圆台用于放置晶圆，所述承片台用于放置载片基板；所述晶圆台和承片台之间设置第一转塔和第二转塔，在所述第一转塔和第二转塔周向，等间距设置至少三个吸嘴，用于取出和放置晶圆上的芯片；在所述第一转塔和第二转塔之间设置校正台，用于在第一转塔和第二转塔之间中转所述芯片；所述第一转塔和第二转塔设置旋转驱动装置；设置垂直运动驱动装置。本发明的旋转塔能够在水平方向实现360°的步进式旋转，同时完成取片和装片动作，减小了旋转角度，大大提高了装片效率，同时设置校正台，装片良品率得到了较大改善。 |
