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一种高精度快速取片、装片装置及采用它的装片机

基本信息

申请号 CN201810417143.0 申请日 -
公开（公告）号 CN110444488B 公开（公告）日 2021-12-07
申请公布号 CN110444488B 申请公布日 2021-12-07
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 王敕 申请（专利权）人 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
代理机构 苏州华博知识产权代理有限公司 代理人 彭益波
地址 215000 江苏省苏州市常熟市东南街道东南大道1150号4-1、4-2
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种高精度快速取片、装片装置，包括晶圆台和承片台，所述晶圆台用于放置晶圆，所述承片台用于放置载片基板；在所述晶圆台和承片台中间位置设置旋转驱动装置，旋转驱动装置连接设置转塔，用于驱动所述转塔在水平方向实现360°的旋转；沿所述转塔周向，等间距设置至少三个吸嘴，用于取出和放置晶圆上的芯片；设置垂直运动驱动装置，用于驱动所述吸嘴在垂直方向上下移动。本发明结构设置合理，整个装置响应快，装片效率和装片良品率得到了较大改善。