一种取片、装片装置及采用它的装片机
基本信息
| 申请号 | CN201810414133.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110444499B | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN110444499B | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王敕 | 申请（专利权）人 | 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭益波 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市常熟市东南街道东南大道1150号4-1、4-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种取片、装片装置及采用它的装片机，在晶圆台和承片台的中间位置设置旋转驱动装置，驱动装置连接设置摆臂本体，用于驱动摆臂本体在水平方向实现顺时针180°和逆时针180°的旋转；本发明的摆臂本体两端均设置吸嘴，能够同时完成取片和装片动作大大提高了装片效率；其次本发明的摆臂本体顺时针180°、逆时针180°交替旋转，且摆臂本体通过特殊的匸型连接件连接在其旋转驱动装置上，有效防止了气管缠绕。同时本发明结构设置合理，整个装置响应快，装片效率和装片良品率得到了较大改善。 |
