一种采用真空负压注浆成型技术制备ITO靶材的方法
基本信息
| 申请号 | CN201610358773.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106045496B | 公开（公告）日 | 2018-06-19 |
| 申请公布号 | CN106045496B | 申请公布日 | 2018-06-19 |
| 分类号 | C04B35/457;C04B35/622;B28B1/26;B28B11/24 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 陈志强 | 申请（专利权）人 | 洛阳瑞德材料技术服务有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳市凯旋专利事务所 | 代理人 | 陆君 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市涧西区西苑路21号院内1号楼9楼910 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种采用真空负压注浆成型技术制备ITO靶材的方法，涉及材料领域。本发明采用氧化铟或氧化锡或氧化锆或氧化铈或氧化铋等溶胶作为粘结剂而不使用有机粘结剂配制浆料，采用真空负压注浆成型，真空负压以柔性方式施加给浆体，减少坯体成型内应力，成型、干燥和预烧一次原位完成。本发明可以有效减少ITO制造过程时间和成本，提高产品质量，特别适合于大规格ITO靶材的制造。本发明方法不仅适用于ITO靶材的成型，同样适用于AZO、IGZO等陶瓷靶材的成型。 |
