一种MEMS压力传感器测试结构
基本信息
| 申请号 | CN202021935135.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212903713U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212903713U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | G01L25/00(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈恕华;胡晨光 | 申请（专利权）人 | 苏州搏技光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邵永永 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS压力传感器测试结构，包括主体支架、安装于主体支架上的第一挡框，所述主体支架上固定安装有Z轴模组，位于主体支架上还设有第一测试结构，所述第一测试结构与Z轴模组连接。本实用新型的有益效果是，通过测试结构与Z轴模组配合，能够有效地对MEMS压力传感器进行测试，并且Z轴模组能够控制测试结构上下移动，适用范围大。 |
