一种MEMS麦克风测试分选一体设备
基本信息
| 申请号 | CN202021898145.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212910048U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212910048U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | H04R29/00(2006.01)I;B65B15/04(2006.01)I;B65B61/06(2006.01)I;B65B51/14(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 陈恕华;胡晨光 | 申请（专利权）人 | 苏州搏技光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邵永永 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风测试分选一体设备，包括Wafer供料系统、移载系统和测试系统，所述Wafer供料系统包括升降仓、推环组件、提篮和Wafer，且升降仓顶部连接有推环组件，所述推环组件表面连接有提篮，且提篮顶部安装有Wafer，所述移载系统设置于Wafer供料系统的上方，所述移载系统包括台板、X轴模组、Y轴模组、Wafer台、顶针组件、中转载具、入料手臂和左右移载轴。该MEMS麦克风测试分选一体设备通过同时设置Wafer供料系统、测试系统和包装系统达到了对产品的检测和包装，从而解决了现有技术中MEMS麦克风测试环节设备占地面积大、设备成本高、工艺流转风险高的问题，Wafer供料系统的方式，避免了市场上散料入料或Tray中转的方式，减少了MEMS麦克风的供给风险和成本。 |
