一种改善光照均匀性的光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202121007699.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214846231U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214846231U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市科航尚博专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴疆 |
| 地址 | 215505江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区东南大道1号810室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种改善光照均匀性的光刻机，包括光刻箱、导光箱和导光筒，还包括掩模座和取料槽，所述光刻箱顶部通过螺栓安装有导光箱，所述导光箱一侧顶部通过螺栓穿设安装有导光筒，所述导光箱内顶部通过螺栓安装有三棱镜，所述导光箱内底部通过螺栓安装有掩模座，所述掩模座顶部开设有掩模版槽，所述光刻箱内底部通过螺栓安装有座板，所述座板顶部通过螺栓安装有Z轴电动滑轨，所述Z轴电动滑轨的Z轴滑动块顶部通过螺栓安装有X轴电动滑轨。整体改善光照均匀性的光刻机使用稳定高效，能够对光刻设备作业环境更加稳定，助于光照更加均匀，大大提升光刻的品质，具有较高的实用性。 |
