一种具有双工位旋转载片的光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202121016583.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215297945U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215297945U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I;G02B25/00（2006.01）I;F21V33/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市科航尚博专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴疆 |
| 地址 | 215505江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区东南大道1号810室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种具有双工位旋转载片的光刻机，包括光刻机本体、半圆形盒盖和放置槽，所述光刻机本体一侧通过螺栓固定有半圆形盒体，所述半圆形盒体内部顶部通过安装架安装有照明灯，所述光刻机本体内部通过螺栓固定有伺服电机，所述伺服电机顶部通过插销固定有结构块，所述结构块两侧焊接有连接板，所述连接板一端焊接有运动台。本实用新型采用双工位设计，可以提高光刻机的工作效率，同时方便人员观察压印后的晶圆。 |
