一种纳米压印光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202121016567.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215297936U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215297936U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市科航尚博专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴疆 |
| 地址 | 215505江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区东南大道1号810室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、运动台、光源箱和压印箱，还包括螺纹杆和伺服电机，所述底座顶部设有运动台，所述底座顶部一侧通过螺栓安装有支撑架，所述支撑架顶部一侧通过螺栓安装有上板，所述上板底部设有压印箱，所述上板上贯穿焊接连接有内螺纹套，所述内螺纹套内螺纹插设有螺纹杆，所述压印箱顶部通过螺栓安装有伺服电机。整体纳米压印光刻机使用稳定高效，可助于人员对多种规格的晶圆进行压印光刻的同时，可有效提高压印光刻的品质，有效解决外部光照的影响，具有较高的实用性。 |
