一种校正压印光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202120487858.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215181394U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215181394U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市科航尚博专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴疆 |
| 地址 | 215505江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区东南大道1号810室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种校正压印光刻机，属于光刻机领域，包括安装架、工作台、曝光室、模板、置片台和校正装置，安装架设置在工作台上，曝光室可升降设置在安装架上，在曝光室的下端设置有压印头，模板设置在压印头上，校正装置可升降设置在曝光室的一端，校正装置包括校正架和校正杆，校正杆可滑动设置在校正架内，置片台可滑动设置在工作台上，置片台与校正杆和模板相配合，在置片台的上台体设有校正槽，校正杆和校正槽相配合。本实用新型的有益效果是能够使晶圆正对模板，避免产生偏移，且置片台可根据不同晶圆的直径进行调节固定。 |
