一种半自动式纳米压印设备
基本信息
| 申请号 | CN202121008009.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215181395U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215181395U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市科航尚博专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴疆 |
| 地址 | 215505江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区东南大道1号810室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半自动式纳米压印设备，包括纳米压印机、操作腔和放置盘，所述纳米压印机内部开设有操作腔，所述操作腔内部通过轴承安装有小型丝杆，所述小型丝杆外侧套设有内螺纹立柱，所述内螺纹立柱顶部通过螺栓固定有放置盘，所述内螺纹立柱一侧通过安装架安装有伺服电机。本实用新型可以对压印后的晶圆进行散热，同时可以调节放置盘的高度，方便人员操作放置盘内晶圆。 |
