一种ITO烧结靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810671772.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108947520A | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN108947520A | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 梅方胜;袁铁锤;陈立三;杨杨;刘文德;李瑞迪;赵为上;苗华磊 | 申请（专利权）人 | 株洲冶炼集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 长沙朕扬知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周孝湖 |
| 地址 | 412000 湖南省株洲市天元区渌江路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种ITO烧结靶材的制备方法，包括以下步骤：将In2O3粉末和SnO2粉末一起经湿法球磨，得ITO浆料，其中，In2O3粉末和SnO2粉末的原始粒径比为1：（1.0‑2.0），In2O3粉末的原始粒径为50nm‑200nm；将所得ITO浆料经喷雾造粒，得ITO造粒粉体；将所得ITO造粒粉体装入冷压模具中，经振动和抽真空操作后，再经一步冷等静压成型，得ITO坯体；将所得ITO坯体在氧气气氛下进行烧结，即得所述ITO烧结靶材。该制备方法所得ITO烧结靶材具有高密度、低电阻率和高强度的优异性质，解决现有技术的ITO烧结靶材的制备方法工艺流程复杂、成本高、对环境污染较大的问题。 |
