一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道
基本信息
| 申请号 | CN201822005730.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209537672U | 公开（公告）日 | 2019-10-25 |
| 申请公布号 | CN209537672U | 申请公布日 | 2019-10-25 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李德建; 申朝伦; 张志耀 | 申请（专利权）人 | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
| 地址 | 054000 河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道，包括抽空管道和防漏硅内衬管，所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道内，并与所述抽空管道的内壁贴合；所述防漏硅内衬管为碳‑碳复合材料制成的内衬管，并且所述防漏硅内衬管一端设置有外凸的限位环；所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道与单晶炉炉体连接的一端内，并通过所述限位环进行限位。本实用新型的防漏硅内衬管采用碳‑碳复合材料，具有超强的耐高温性和良好的热膨胀系数，在直接接触硅液后不存在烫漏和急剧收缩而破损的现象，避免损伤电器等部件，从而有效降低事故造成的财产损失和对现场工作人员的安全风险。 |
