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单晶炉停炉预防热场损坏方法

基本信息

申请号 CN202010731096.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111826707A 公开（公告）日 2020-10-27
申请公布号 CN111826707A 申请公布日 2020-10-27
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 赵贝;李增卫;赵群 申请（专利权）人 邢台晶龙新能源有限责任公司
代理机构 上海华诚知识产权代理有限公司 代理人 邢台晶龙新能源有限责任公司
地址 054000河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种单晶炉停炉预防热场损坏方法，方法包括步骤1，石英坩埚内有剩料熔融硅液时，拉制晶体，晶体的第一长度进入水冷热屏；步骤2，晶体拉制到第二长度后，停止拉制晶体，且晶体的一端与熔融硅液液面接触；步骤3，在晶体静止后，单晶炉底部的副加热器加热功率下降为零；步骤4，单晶炉四周的主加热器分三个阶段降低功率，直至主加热器加热功率下降为零；步骤5，冷却一定时间后拆单晶炉。根据本发明实施例的方法，能够拉制一定长度单晶增大迁热体积，加快石英坩埚中部熔融硅液凝结速度，降低了应力集中度，单晶炉上加热器阶梯式停止加热，减缓石英坩埚四周硅凝结速度，让出应力释放区，从而最大限度的保证热场的完整性。