排废装置及拉晶炉

基本信息

申请号 CN202020946547.1 申请日 -
公开(公告)号 CN212688229U 公开(公告)日 2021-03-12
申请公布号 CN212688229U 申请公布日 2021-03-12
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 赵亮;王东;孔凡静 申请(专利权)人 邢台晶龙新能源有限责任公司
代理机构 上海华诚知识产权代理有限公司 代理人 徐颖聪
地址 054000河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种排废装置及拉晶炉。该排废装置包括:第一管道,所述第一管道通过第一阀体与抽真空装置相连;第二管道,所述第二管道通过第二阀体与所述抽真空装置相连,其中,所述第一管道与所述第二管道之一与所述抽真空装置相连通。本实用新型中,通过设置两套相对独立的排废气用管道,在炉内拉制时间超过预定时间后,可以进行状态切换,从而能够解决装置在长时间运行后堵塞和排气不畅问题;在运行中切换使用备用管道,释放石英坩埚潜在的承受时间,延长单埚拉制时间,规避成晶不良颓势,从而达到提产增效、降低成本的目的。