排废装置及拉晶炉
基本信息
申请号 | CN202020946547.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212688229U | 公开(公告)日 | 2021-03-12 |
申请公布号 | CN212688229U | 申请公布日 | 2021-03-12 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 赵亮;王东;孔凡静 | 申请(专利权)人 | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐颖聪 |
地址 | 054000河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种排废装置及拉晶炉。该排废装置包括:第一管道,所述第一管道通过第一阀体与抽真空装置相连;第二管道,所述第二管道通过第二阀体与所述抽真空装置相连,其中,所述第一管道与所述第二管道之一与所述抽真空装置相连通。本实用新型中,通过设置两套相对独立的排废气用管道,在炉内拉制时间超过预定时间后,可以进行状态切换,从而能够解决装置在长时间运行后堵塞和排气不畅问题;在运行中切换使用备用管道,释放石英坩埚潜在的承受时间,延长单埚拉制时间,规避成晶不良颓势,从而达到提产增效、降低成本的目的。 |
