一种晶圆盒运输装置
基本信息
| 申请号 | CN202111435675.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114141677A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114141677A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杜宬;高博扬 | 申请（专利权）人 | 北京知形科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙志一 |
| 地址 | 102402北京市房山区弘安路85号院2号楼2层201室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆盒运输装置，涉及运输晶圆的载具技术领域，包括罩子本体、减震器和内部储存有硅片的晶圆盒，罩子本体内部设有晶圆盒和减震器，减震器位于晶圆盒和罩子本体之间。晶圆盒通过减震器支撑设置在罩子本体的内部，并且晶圆盒与罩子本体之间通过减震器进行隔离，减缓AGV机器人在移动过程中产生的震动通过罩子本体传导到晶圆盒，保护晶圆盒内的硅片，避免造成硅片损坏的情况，晶圆盒位于罩子本体内部，防尘性好，机器人通过视觉判断晶元盒轮廓，确定晶元盒的位置和姿态，提高抓取定位精度，适合机械臂取放。 |
