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声表面波磁传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201610443415.5 申请日 -
公开（公告）号 CN106154186B 公开（公告）日 2020-01-17
申请公布号 CN106154186B 申请公布日 2020-01-17
分类号 G01R33/02 分类 测量；测试;
发明人 童贝;李杨;周卓帆;欧阳君;朱本鹏 申请（专利权）人 瑞声声学科技（常州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 213167 江苏省常州市武进区南夏墅镇
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种声表面波磁传感器。所述声表面波磁传感器包括压电薄膜、分别设于所述压电薄膜两侧的种子层和叉指换能器、以及设于所述种子层背离所述压电薄膜的表面的衬底基片，所述叉指换能器包括叉指电极及位于所述叉指电极两端的反射栅，所述叉指电极为磁性叉指电极。本发明同时提供一种声表面波磁传感器的制备方法。本发明的叉指电极为磁性叉指电极，在外加磁场的作用下，叉指电极弹性模量会发生改变，从而整个器件的等效弹性模量也会发生变化，导致声表面波的谐振频率发生改变，能实现检测外界磁场的大小的功能；且具有膜层结构简单、制备方法简单、低成本、高各向异性、高灵敏度、高分辨率、易于微型化等优点。