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一种微机电六轴惯性传感器

基本信息

申请号 CN201210585811.3 申请日 -
公开（公告）号 CN103900546B 公开（公告）日 2016-08-03
申请公布号 CN103900546B 申请公布日 2016-08-03
分类号 G01C19/5719;G01C19/5733 分类 测量；测试;
发明人 焦继伟;王敏昌;宓斌玮;张颖 申请（专利权）人 上海迎翱芯物联网合伙企业（有限合伙）
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 李仪萍
地址 201815 上海市嘉定区兴贤路1368号3幢3157室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种微机电六轴惯性传感器，由三轴角速度传感器及设置于其内、并与其惯性质量中心重合的且相互独立的三轴加速度传感器组成。由于惯性质量中心重合，从而提高了微机电六轴惯性传感器的组合解析精度；本发明外围的三轴微机电角速度传感器为对称结构，且与驱动质量块连接的锚点形成三点支撑结构，提高了本发明的可靠性及稳定性；本发明采用两对第一转动质量块分别或同时检测所述传感器所在平面内相互垂直的两个方向外部角速度，有效减少了检测信号之间的耦合，提高了信噪比，提高了被检测方向的外部角速度检测精度；本发明利用斜驱动梁实现平动驱动向转动驱动的变换，使本发明具有集成密度高、占用面积小、成本低等优势。