光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺

基本信息

申请号 CN201210563947.4 申请日 -
公开(公告)号 CN103885177A 公开(公告)日 2017-09-12
申请公布号 CN103885177A 申请公布日 2017-09-12
分类号 G02B26/08;H04B10/291 分类 光学;
发明人 不公告发明人 申请(专利权)人 上海迎翱芯物联网合伙企业(有限合伙)
代理机构 上海金盛协力知识产权代理有限公司 代理人 王松
地址 中国香港湾仔告士打道128号祥丰大厦15楼A-B室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭示了一种光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺,所述均衡器包括通过光学封装的MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器;MEMS光学微镜驱动器芯片包括第一光学微反射镜、第二光学微反射镜、微位移调节单元;微位移调节单元用以控制第一光学微反射镜或/和第二光学微反射镜的水平方向或/和垂直方向的微位移运动,实现MZI分束比和干涉臂相位调谐,动态控制输入WDM光信号的光谱斜率。本发明提出的动态增益斜率均衡器采用MEMS工艺制作,具有插入损耗低、均衡范围宽、体积小、调谐速度快、驱动功率微小等优点,可直接集成到EDFA中实现动态增益斜率均衡,还能应用于解决传输光纤、光纤色散补偿模块、光纤SRS效应等造成的DWDM通道间信号功率不均衡问题。