一种干式真空泵的防卡死装置

基本信息

申请号 CN201820351784.6 申请日 -
公开(公告)号 CN207989314U 公开(公告)日 2018-10-19
申请公布号 CN207989314U 申请公布日 2018-10-19
分类号 F04C23/02;F04C28/28;F04C18/16;F04C25/02 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 李啸;林培英;黄洪福;朱佰喜 申请(专利权)人 深圳市志橙半导体材料股份有限公司
代理机构 广州市天河庐阳专利事务所(普通合伙) 代理人 胡济元
地址 518054 广东省深圳市南山区南山街道南山大道康乐大厦福海阁10F
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种干式真空泵的防卡死装置,包括机架和设在机架上的电机,所述电机的动力输出轴与干式真空泵的螺杆连接。本实用新型能够让停止作业后的干式真空泵的螺杆继续保持转动,从而保证干式真空泵内的温度不会过低,避免泵内的颗粒凝结,确保干式真空泵的螺杆不会被卡死;另外,还能够减少能耗,节省人力。