一种干式真空泵的防卡死装置
基本信息
申请号 | CN201820351784.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN207989314U | 公开(公告)日 | 2018-10-19 |
申请公布号 | CN207989314U | 申请公布日 | 2018-10-19 |
分类号 | F04C23/02;F04C28/28;F04C18/16;F04C25/02 | 分类 | 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵; |
发明人 | 李啸;林培英;黄洪福;朱佰喜 | 申请(专利权)人 | 深圳市志橙半导体材料股份有限公司 |
代理机构 | 广州市天河庐阳专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 胡济元 |
地址 | 518054 广东省深圳市南山区南山街道南山大道康乐大厦福海阁10F | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开一种干式真空泵的防卡死装置,包括机架和设在机架上的电机,所述电机的动力输出轴与干式真空泵的螺杆连接。本实用新型能够让停止作业后的干式真空泵的螺杆继续保持转动,从而保证干式真空泵内的温度不会过低,避免泵内的颗粒凝结,确保干式真空泵的螺杆不会被卡死;另外,还能够减少能耗,节省人力。 |
