一种拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用
基本信息
| 申请号 | CN201911282239.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110923674A | 公开（公告）日 | 2020-03-27 |
| 申请公布号 | CN110923674A | 申请公布日 | 2020-03-27 |
| 分类号 | C23C16/52;C23C16/30;G01N21/65 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于葛亮;韩亚清;肖经宽;康斯坦丁·诺沃肖洛夫 | 申请（专利权）人 | 南通普朗克石墨烯科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏瑞途律师事务所 | 代理人 | 南通普朗克石墨烯科技有限公司 |
| 地址 | 226000 江苏省南通市开发区广州路42号410室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用，属于化学气相沉积领域。系统包括化学气相沉积系统和拉曼光谱仪，所述化学气相沉积系统包括高温炉，所述高温炉中的炉腔内设有穿过高温炉的三通炉管，所述三通炉管设有上方开口，上方开口的正下方设置有载样台，所述三通炉管的上方开口密封连接光学镜片；所述拉曼光谱仪的探头垂直对准三通炉管中置于载样台上的基底。本发明通过设置三通炉管的上方开口为透射窗口，以供光信号通过，使拉曼光谱仪实时监控化学气相沉积进程，进而通过分析拉曼光谱数据对样品制备的生长参数进行调控，制备样品过程更加灵活可控，有效提高了样品生长的效率。 |
