电学测试监控反馈式化学气相沉积系统及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201911283328.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110983292A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110983292A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | C23C16/26;C23C16/455;C23C16/52;C23C16/54;G01R31/00;G01R27/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于葛亮;韩亚清;肖经宽;杜人君;蒋思奇;张棣;康斯坦丁·诺沃肖洛夫 | 申请（专利权）人 | 南通普朗克石墨烯科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏瑞途律师事务所 | 代理人 | 南通普朗克石墨烯科技有限公司 |
| 地址 | 226000 江苏省南通市开发区广州路42号410室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电学测试监控反馈式化学气相沉积系统及其应用，属于化学气相沉积领域。系统包括化学气相沉积系统和电学测试系统，所述化学气相沉积系统包括高温炉，所述高温炉中的炉腔内设有穿过高温炉的三通炉管，所述三通炉管设有上方开口，上方开口处的正下方设置有载样台；所述电学测试系统包括通过内置导线连接的四探针测试杆和四探针测试仪；所述四探针测试杆与上方开口密封连接。本发明通过对化学气相沉积系统炉管的改造，使化学气相沉积系统与电学测试系统结合，进而有效的实现了对样品生长质量的实时监控以及能够及时反馈至控制系统以调节生长参数，生成原子层级厚度的样品，灵活性强，成膜效果好，样品性能高。 |
