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光束稳定系统及检测设备

基本信息

申请号	CN202122560369.6	申请日	-
公开（公告）号	CN215931245U	公开（公告）日	2022-03-01
申请公布号	CN215931245U	申请公布日	2022-03-01
分类号	G01M11/02（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	辛自强;刘伟龙;方一;黄有为;陈鲁;张嵩	申请（专利权）人	深圳中科飞测科技股份有限公司
代理机构	深圳鼎合诚知识产权代理有限公司	代理人	彭家恩
地址	518000广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
法律状态	-

摘要

本申请公开了一种光束稳定系统及检测设备，光束稳定系统包括激光光源，第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜以及第四反射镜，光程调节组件、第一探测器、第五反射镜、第二探测器、第一调节组件以及第二调节组件；激光光源发出的光线依次经过第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜后，传输出光束稳定系统；透射经过第二反射镜的光线经过光程调节组件后传输至第一探测器；透射经过第四反射镜的光线传输至第二探测器。通过光程调节组件，能够调节激光光源的出射光线到第一探测器的光程，改变光束稳定系统中第一探测器的检测精度，从而方便根据第一探测器的检测结果对激光光源的出射光线的稳定性进行调节，提高光束稳定系统的调节效率。