承载装置和检测设备

基本信息

申请号 CN202122384854.2 申请日 -
公开(公告)号 CN216120251U 公开(公告)日 2022-03-22
申请公布号 CN216120251U 申请公布日 2022-03-22
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 董坤玲;金建高;张鹏斌;范铎;孙世宏;陈鲁;张嵩 申请(专利权)人 深圳中科飞测科技股份有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 吴婷
地址 518110广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种承载装置和检测设备。承载装置包括支架和吸附件。其中,支架上形成有镂空区域,吸附件连接支架并设置在镂空区域内;吸附件用于吸附待测物并使待测物的相背两侧均能够通过镂空区域露出。本申请的承载装置中,通过支架的定位及连接支架的吸附件的真空吸附,将待测物的正面无遮挡地承载在支架上,以便满足对待测物的正面进行无遮挡检测的需求;同时,由于支架上形成有镂空区域,吸附件设置在镂空区域内,那么被吸附件真空吸附固定的待测物的背面也能通过镂空区域露出,并且待测物的背面遮挡区域较小,这样,能够实现最大程度上全面检测待测物的相背两侧的效果。