一种检测装置和检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202010857187.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114184138A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114184138A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;F21S2/00（2016.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈鲁;刘健鹏;范铎;张鹏斌;张嵩 | 申请（专利权）人 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵晓荣 |
| 地址 | 518109广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种检测装置和检测方法。检测装置包括：照明组件和成像组件；照明组件包括：穹顶组件；成像组件包括：成像镜头和探测器；当穹顶组件被点亮时，用于对待测物进行照明。穹顶组件位于成像组件的光轴的一侧，且所述穹顶组件朝着背离所述光轴的方向凹陷。成像镜头用于收集经待测物反射和/或散射的光并提供给探测器；探测器用于根据所述成像镜头收集的光形成对待测物的检测图像。由于穹顶组件能够提供非常丰富的照明方向，因此，能够对被测物的多种类型的区域进行丰富的照明，便于对这些多种类型的区域进行成像检测。如此一来，提升了对待测物的检测准确性，避免调整待测物的角度或改变照射角度，进而提升了检测效率和检测量。 |
