一种检测方法和检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202010981796.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114199891A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114199891A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈鲁;方一;黄有为;魏林鹏 | 申请（专利权）人 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李婷婷 |
| 地址 | 518109广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种检测方法和检测设备，包括：提供检测光，所述检测光在待测物表面形成检测光斑，所述检测光经所述待测物形成信号光；探测所述待测物表面探测区内的第一信号光，所述探测区与所述检测光斑至少部分重叠，调整第一信号光的检测区域的尺寸，其中，调整第一信号光的检测区域的尺寸包括：在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时，将检测第一信号光的检测区域调整为第一尺寸，在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时，将检测第一信号光的检测区域调整为第二尺寸，在垂直于扫描方向的方向上，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，以减小光斑内外两侧的扫描速度差异，提高检测的灵敏度。 |
