多晶硅铸锭炉改进型热场结构

基本信息

申请号 CN201020107331.2 申请日 -
公开(公告)号 CN201627002U 公开(公告)日 2010-11-10
申请公布号 CN201627002U 申请公布日 2010-11-10
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 金越顺;卫国军;孙海梁 申请(专利权)人 精功绍兴太阳能技术有限公司
代理机构 杭州华知专利事务所 代理人 精功绍兴太阳能技术有限公司
地址 312081 浙江省绍兴县柯桥经济开发区柯北大道1158号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备,具体指多晶硅铸锭炉改进型热场结构,包括:顶部隔热板、周边隔热体、底部隔热板、电极、连接块、加热板、热交换块、立柱、吊杆、坩埚、炉体。周边隔热体用吊杆悬挂于炉体中,热交换台由数根支柱支撑,上面设置了坩埚、电极、连接块、加热板、顶部隔热板,支柱上还固定了底部隔热板。吊杆与炉体是滑动配合,可拉动周边隔热体作升降运动,以关闭和开启热场,在整个热场中,形成一个垂直的温差梯度。通过控制散热与加热,使得多晶硅的结晶凝固分界面逐步上移,在垂直方向创造一个调控自如的温度梯场,生产长晶良好的、高品质多晶硅大型铸锭。