多晶硅铸锭炉改进型热场结构
基本信息
申请号 | CN201020107331.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201627002U | 公开(公告)日 | 2010-11-10 |
申请公布号 | CN201627002U | 申请公布日 | 2010-11-10 |
分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 金越顺;卫国军;孙海梁 | 申请(专利权)人 | 精功绍兴太阳能技术有限公司 |
代理机构 | 杭州华知专利事务所 | 代理人 | 精功绍兴太阳能技术有限公司 |
地址 | 312081 浙江省绍兴县柯桥经济开发区柯北大道1158号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备,具体指多晶硅铸锭炉改进型热场结构,包括:顶部隔热板、周边隔热体、底部隔热板、电极、连接块、加热板、热交换块、立柱、吊杆、坩埚、炉体。周边隔热体用吊杆悬挂于炉体中,热交换台由数根支柱支撑,上面设置了坩埚、电极、连接块、加热板、顶部隔热板,支柱上还固定了底部隔热板。吊杆与炉体是滑动配合,可拉动周边隔热体作升降运动,以关闭和开启热场,在整个热场中,形成一个垂直的温差梯度。通过控制散热与加热,使得多晶硅的结晶凝固分界面逐步上移,在垂直方向创造一个调控自如的温度梯场,生产长晶良好的、高品质多晶硅大型铸锭。 |
