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一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置

基本信息

申请号 CN202022119223.3 申请日 -
公开（公告）号 CN212991113U 公开（公告）日 2021-04-16
申请公布号 CN212991113U 申请公布日 2021-04-16
分类号 H01L21/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 吴思 申请（专利权）人 南京南大光电工程研究院有限公司
代理机构 上海创开专利代理事务所（普通合伙） 代理人 汪发成
地址 210000江苏省南京市经济技术开发区恒园路龙港科技园B2栋1101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，涉及半导体生产装置技术领域，针对现有的生产不稳定的问题，现提出如下方案，其包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，本实用新型结构简单，使用方便，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时可以改变喷气箱出气的位置，保证原料生长的稳定和均匀，进而保证成品的质量，降低废品率。