一种基于白光干涉测量的微沟槽特征分割方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202210406408.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114693936A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114693936A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G06V10/26（2022.01）I;G06V10/44（2022.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 雷自力;刘晓军;赵丽 | 申请（专利权）人 | 华中科技大学 |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 | 代理人 | - |
| 地址 | 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于白光干涉测量的微沟槽特征分割方法及系统，属于图像处理领域；通过对微沟槽三维图像中台阶、过渡区域、沟道以及噪声的特征进行分析发现，当采用高度和梯度两种属性进行描述时，各种特征内部均匀具有一致性，特征之间的差异比较大，并且特征之间的属性描述基本不交叉，本发明采用高度和梯度两个参数作为二维属性来描述各个特征，能够规避噪声所带来的影响，同时对台阶、过渡区域、沟道三种待提取特征的区别化描述能力也较强；另外，本发明采用表面特征的概率描述方法，基于最大信息熵原理实现对沟槽微结构特征的自动分割，获得用于评定的各种特征的高度矩阵；这个过程无需人工干涉，分割效率及准确性较高，确定性也较强。 |
