一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备
基本信息
| 申请号 | CN202122580896.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216726752U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216726752U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | B01F27/80（2022.01）I;B01F35/71（2022.01）I;B01F35/21（2022.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 史志贺;张勇;陆鸣 | 申请（专利权）人 | 江苏雷博微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市权益专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214437江苏省无锡市江阴市金山路201号创智园数码港A座一楼东南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，包含有料仓（2）、料斗（7）和搅拌罐（9），所述料仓（2）的底部出料口连接至螺旋输送装置（5）的进料口，所述螺旋输送装置（5）的出料口连接至料斗（7）的顶部进料口，所述料斗（7）的底部出料口与搅拌罐（9）的顶部进料口之间相连通的波纹管上安装有波纹管称重传感器（17）。本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，有效的提高了清洗液的配置生产效率。 |
