密封顶升装置
基本信息
| 申请号 | CN202111205239.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114023685A | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN114023685A | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱燕娟;史志贺;顾周 | 申请（专利权）人 | 江苏雷博微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市权益专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈强 |
| 地址 | 214437江苏省无锡市江阴市金山路201号创智园数码港A座一楼东南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明一种密封顶升装置，包含有顶针升降模块和加热板升降模块，顶针升降模块的顶针穿过加热板升降模块的加热板顶升晶圆，且顶针升降模块和加热板升降模块之间同轴设置有内外两个波纹管。本发明一种密封顶升装置，具有结构紧凑且密封性能极高的优点。 |
