一种晶片承载装置及刻蚀设备
基本信息
| 申请号 | CN202010031142.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113113342A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN113113342A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王子荣;陆前军;陈术文 | 申请（专利权）人 | 广东中图半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 胡彬 |
| 地址 | 523000广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体制造相关领域，公开了一种晶片承载装置及刻蚀设备，其中晶片承载装置包括放置有晶片的托盘，以及置于所述托盘上且压紧所述晶片的盖板，所述托盘和所述盖板之间绝缘设置并形成电容。本发明通过托盘和盖板之间绝缘设置并形成电容，能够弱化射频系统在盖板上形成的鞘层的强度和厚度，进而减小在晶片边缘产生的向盖板方向偏转的附加电场力，减弱带电粒子在刻蚀过程中的偏转，控制刻蚀过程中图形的畸变，有效改善晶片边缘的刻蚀均一性，降低甚至完全消除边缘图形畸变。 |
