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一种复合图形化衬底、制备方法及LED外延片

基本信息

申请号 CN201911373514.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113053724A 公开（公告）日 2021-06-29
申请公布号 CN113053724A 申请公布日 2021-06-29
分类号 H01L21/02;H01L33/22 分类 基本电气元件;
发明人 王子荣;陆前军;张剑桥;张能 申请（专利权）人 广东中图半导体科技股份有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种复合图形化衬底、制备方法及LED外延片。该复合图形化衬底的制备方法包括：提供一平片蓝宝石衬底；在所述平片蓝宝石衬底上形成至少一层介质层，所述至少一层介质层包括位于底层且与所述平片蓝宝石衬底接触的第一介质层；图案化所述至少一层介质层，形成多个异质微结构；其中包括：采用刻蚀液对所述第一介质层进行湿法刻蚀；所述平片蓝宝石衬底与所述刻蚀液的化学反应速率低于所述第一介质层与所述刻蚀液的化学反应速率。本发明实施例解决了现有图形化衬底制备过程中平片蓝宝石衬底C面容易严重受损的问题，可以保证复合图形化衬底中生长外延材料的C面的质量，从而有助于减少外延生长缺陷，改善外延层质量。