柔性低辐射窗膜及其生产实时控制方法
基本信息
| 申请号 | CN200310110607.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1314830C | 公开（公告）日 | 2007-05-09 |
| 申请公布号 | CN1314830C | 申请公布日 | 2007-05-09 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01);C23C14/20(2006.01);C23C14/35(2006.01);C23C14/56(2006.01) | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 彭传才;李京增;魏敏;胡云慧;余圣发;钟碧城;胡浩龙 | 申请（专利权）人 | 湖南三才光电信息材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 410007湖南省长沙市芙蓉南路292号华顺大厦八楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种柔性低辐射窗膜，它由镀制在透明柔性基材上的多层薄膜构成，该多层薄膜的膜系结构是SiOx-SSOx-AgAu-ITO或SiOx-SSOx-AgAu-ITO-AgAu-ITO，其中，AgAu膜层为在银中掺入重量比为15％—20％且均匀分布的金所组成的银合金。所述窗膜的实时监控方法是在多靶磁控溅射卷绕镀膜机收料辊一侧沿基膜横向安装多个发光二极管发射-接收探头且这些探头的发射光与所述基膜运行方向垂直，所述光接收探头的输出信号经放大器放大再由模数转换为数字信息送至单片计算机进行比较处理后，通过接口与上位机联接，由其控制靶功率输出，从而实时控制连续多层镀膜的厚度。 |
