光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法
基本信息
| 申请号 | CN201610012510.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105674902B | 公开（公告）日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN105674902B | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | G01B11/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨宝喜;师中华;胡小邦;魏张帆;李璟;陈明;黄惠杰 | 申请（专利权）人 | 北京国望光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;北京国望光学科技有限公司 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一光纤环形器、第二光纤环形器、第一光纤准直器、电机驱动移动平台、可移动扫描反射镜、第二光纤准直器、四维调整架、可调焦准直器、待测镜组、安装架、光纤后向反射镜、光电探测器、平衡光电探测器、连接光纤。本发明通过平衡差分测量的方法，同时利用耦合器的两路输出，去除本底干扰信号，使干涉信号强度增大一倍，可用于光学镜组的高精度装调。 |
