高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框
基本信息
| 申请号 | CN201510881287.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105467548B | 公开（公告）日 | 2018-05-01 |
| 申请公布号 | CN105467548B | 申请公布日 | 2018-05-01 |
| 分类号 | G02B7/02;G03F7/00 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 陈华男;郭抗;倪明阳;李显凌;张巍;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人 | 北京国望光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;北京国望光学科技有限公司 |
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、操作空间大、定位及重复定位精度低和镜片易被污染的问题。本发明的外镜框为圆筒结构，外镜框内部两个侧壁设置有滑槽，内部侧壁上设置有圆锥槽和V型槽，外镜框内部上端面靠近开口一端设置有球头A；内镜框为方形结构，任意相对的两个侧壁上设置有滑轨，与滑轨所在侧壁相邻的一个侧壁上设置有两个球头B，两个球头B的位置分别与圆锥槽和V型槽相对应，方形结构上端面与球头A对应位置处设置有上平台；内镜框的滑轨与外镜框内的滑槽配合，内镜框外侧设置有防护盖，防护盖与外镜框通过螺钉固定连接。 |
