透镜组镜面间距的测量装置和测量方法
基本信息
| 申请号 | CN201610012511.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105674903B | 公开（公告）日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN105674903B | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | G01B11/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨宝喜;师中华;胡小邦;魏张帆;李璟;陈明;黄惠杰 | 申请（专利权）人 | 北京国望光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;北京国望光学科技有限公司 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种透镜组镜面间距的测量装置和测量方法，装置包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一波分复用器、第二波分复用器、第三波分复用器、光纤耦合器、第一MEMS光开关、第二MEMS光开关、延迟扫描臂、可调焦准直器、四维调整架、待测透镜组、安装架、光纤后向反射镜、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、数据采集系统、数据处理单元。本发明具有测量范围大及测量精度高的特点，测量精度可达到亚微米量级，可用于光学镜组的高精度装调。 |
