一种转台摆角精密测量方法
基本信息
| 申请号 | CN201510974369.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105571527B | 公开（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申请公布号 | CN105571527B | 申请公布日 | 2018-08-24 |
| 分类号 | G01B11/26;G01B11/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苗二龙;武东城;苏东奇;高松涛;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人 | 北京国望光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;北京国望光学科技有限公司 |
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明一种基于平面干涉仪的转台摆角精密测量方法，属于光学检测领域，解决了现有技术中测量转台摆角精度严重依赖标准件的质量的技术问题；本发明利用了干涉仪和标准平晶建立标准的平面干涉腔，并测量标准平晶在不同转动角度下的干涉图。利用Zernike多项式提取出标准平晶的倾斜量，统计倾斜量的变化就可以得到转台的转动摆角；该方法简便易行，测量精度高，能够满足精密转台摆角测量要求。 |
