蒸发镀膜设备及基材的镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202110168139.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112725760A | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN112725760A | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭敏;张万财 | 申请（专利权）人 | 厦门海辰新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 周宇 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新区火炬园火炬路56-58号火炬广场南楼420-5 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种蒸发镀膜设备及基材的镀膜方法，属于蒸发镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括沿基材的输送路径依次设置的用于对基材的同一表面进行镀膜的至少两组镀膜组件。每组镀膜组件包括主冷辊和蒸镀装置，蒸镀装置被配置成对基材进行镀膜，主冷辊被配置成对基材进行冷却。该蒸发镀膜设备能够减少超薄基材(厚度小于8μm的基材)在镀膜的过程中的穿孔的可能性，可以使镀膜效果更好。 |
