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一种高稳定性OLED蒸镀设备

基本信息

申请号	CN201811204504.X	申请日	-
公开（公告）号	CN109023245B	公开（公告）日	2018-12-18
申请公布号	CN109023245B	申请公布日	2018-12-18
分类号	C23C14/12(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	曹云娟	申请（专利权）人	西安穿越光电科技有限公司
代理机构	北京艾皮专利代理有限公司	代理人	西安穿越光电科技有限公司
地址	710000陕西省西安市雁塔区太白南路216号嘉天国际第1幢3单元14层31401室
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种高稳定性OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，OLED基板送入装置具有与分隔环固定连接的空心电机外座，在空心电机外座的中心设有空心转动杯，空心转动杯的前端与分隔环的内环转动连接，在空心转动杯的中心设有旋转端盖，在旋转端盖的前端设有OLED基板固定装置。本发明利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。