镀锅
基本信息
| 申请号 | CN202123157376.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216585176U | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN216585176U | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 季韬;白明月;赵清;王敬;单卫平;钮应喜;袁松 | 申请（专利权）人 | 安徽长飞先进半导体有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包园3号楼1803 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀锅，包括镀锅本体、用于装载晶圆片的载片盘和设置于所述镀锅本体上且用于调节载片盘的角度的调节机构。本实用新型的镀锅，载片盘角度可调节，保证了蒸发入射角度也是可以调节的，从使得金属线条的角度有较大的选择性，增加工艺窗口的选择性，提高镀锅的适应性。 |
