一种用于线性蒸发源坩埚的材料添加装置
基本信息
申请号 | CN201320410170.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203382814U | 公开(公告)日 | 2014-01-08 |
申请公布号 | CN203382814U | 申请公布日 | 2014-01-08 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 陈鹏;王安祥 | 申请(专利权)人 | 彩虹(佛山)平板显示有限公司 |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 彩虹(佛山)平板显示有限公司 |
地址 | 528300 广东省佛山市顺德区大良街道五沙新悦路13号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型一种用于线性蒸发源坩埚的材料添加装置,包括进料漏斗和出料漏斗,以及两端分别连接在进料漏斗和出料漏斗小口端的连接管;进料漏斗的尺寸大于出料漏斗的尺寸。优选的,出料漏斗内部向外延伸设置呈空心圆柱状的插接管,插接管用于配合插入到线性蒸发源坩埚的圆形蒸发口内。通过进料漏斗和出料漏斗的设置,保证了填料能够顺利的从线性坩埚的圆形蒸发口中加入,一方面通过进料漏斗扩大了加料时的接料横截面积,一方面通过出料漏斗方便了与圆形蒸发口的对接,实现了对蒸发源材料快速方便地材料的添加,能够节约材料,提高填料效率,实用性强;解决了线型蒸发源填充有机材料困难的问题,并且减少作业时间,提高材料利用率,降低生产成本。 |
