低温面形摄影测量方法

基本信息

申请号 CN201510599033.7 申请日 -
公开(公告)号 CN105403168B 公开(公告)日 2017-12-12
申请公布号 CN105403168B 申请公布日 2017-12-12
分类号 G01B11/24(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 钱元;娄铮;刘昌儒;范生宏;王海仁;左营喜;杨戟 申请(专利权)人 北京普达迪泰科技有限公司
代理机构 南京钟山专利代理有限公司 代理人 中国科学院紫金山天文台;北京普达迪泰科技有限公司
地址 210008 江苏省南京市鼓楼区北京西路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种低温面形摄影测量方法,其采用高分辨率工业相机,结合低温电机驱动的自动测试台,实现测量设备在低温环境实验舱中的自动化拍摄;利用常温下三坐标仪测量结果对靶标厚度进行标定,从而消除了由靶标厚度差异造成的系统测量误差。本发明在低温环境实验舱中,实现了2.1微米rms的重复测量精度、测量效果理想,可在常温至‑60℃的温度范围内测量了多种板材结构的面形的变化规律。