一种基板应力传感器及传感设备
基本信息
| 申请号 | CN202111391741.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114112129A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114112129A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | G01L1/20（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 袁辅德;秦文辉 | 申请（专利权）人 | 苏州纳芯微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吕鑫 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园C1-501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基板应力传感器，包括半导体基板；位于半导体基板表面的应力感测电路；应力感测电路包括两个参考电阻、电流输入模块和电流镜；参考电阻中包括至少一个同性参考电阻；同性参考电阻中电流各向同性，同性参考电阻包括第一电极、第二电极以及反应层，第一电极与第二电极在平行于半导体基板表面的平面呈网状分布；电流从第一电极流入同性参考电阻，并经过反应层从第二电极流出同性参考电阻；电流具有多个平行于半导体基板表面的电流分量。通过设置同性参考电阻，可以在半导体基板表面产生多方向的电流分量，达到对基板应力的单一感度，有效节省生产成本与简化相关电路配置。本发明还提供了一种传感设备，同样具有上述有益效果。 |
