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一种内设平衡流量结构的石英扩散管及其方法

基本信息

申请号 CN202111511712.6 申请日 -
公开（公告）号 CN114182353A 公开（公告）日 2022-03-15
申请公布号 CN114182353A 申请公布日 2022-03-15
分类号 C30B31/10（2006.01）I;C30B31/18（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 孔凡昌 申请（专利权）人 东海县奥博石英制品有限公司
代理机构 连云港润知专利代理事务所 代理人 王彦明
地址 222000江苏省连云港市东海县经济开发区黄河路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种内设平衡流量结构的石英扩散管及其方法，属于石英扩散管技术领域。为解决难以平衡流量以及分散气体混合不彻底的问题，转叶组件设置于石英管主体内部的尾端，转叶组件的设置可以在混合气体到达时带动扇叶转动，从而提高了扩散的强度，同时对气体进行搅拌，提高了不同气体的充分混合，入气孔和出气孔之间连接有导流通道，不同的气体在压力下，由入气孔进入出气孔排出，使得分散的气体在出气面进行交汇，提高了分散炉内不同气体的混合速度，调节机构包括有通路组件和调节组件，通过旋转旋钮可以对阻流块之间的开口大小进行调整，从而对石英管主体内部流量进行平衡调整，可以根据实际需求和烧结过程中的情况进行操作调整。